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本征擴散和非本征擴散,具體介紹如下:
本征擴散:在雜質(zhì)原子往半導體中進行熱擴散時,如果雜質(zhì)原子的濃度小于熱擴散溫度下半導體中的本征載流子濃度,則雜質(zhì)原子的擴散系數(shù)為常數(shù),這種擴散就稱為本征擴散。
非本征擴散:擴散受外界因素,如雜質(zhì)離子的電價和濃度等控制的而非本征因素,即結(jié)構(gòu)中本征熱缺陷提供的空位濃度遠小于雜質(zhì)空位濃度的擴散,稱為非本征擴散。
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