生成硅酸和氯化氫。

三氯硅烷是一種含有硅，氫和氯元素的化合物，溶于苯、醚等多數(shù)有機(jī)溶劑，相對(duì)密度為1.37，相對(duì)密度為4.7，性質(zhì)穩(wěn)定 。對(duì)眼和呼吸道粘膜有強(qiáng)烈刺激作用。高濃度下，引起角膜混濁、呼吸道炎癥，甚至肺水腫。與氧化劑發(fā)生反應(yīng)，有燃燒危險(xiǎn)。極易揮發(fā)，在空氣中發(fā)煙，遇水或水蒸氣能產(chǎn)生熱和有毒的腐蝕性煙霧。當(dāng)發(fā)生泄漏時(shí)，應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入，切斷火源。應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿消防防護(hù)服，從上風(fēng)處進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)。切斷泄漏源，防止進(jìn)入下水道、排洪溝等限制性空間。