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科技
我國能制造光刻機，當(dāng)前中國肯定是有自己的能力生產(chǎn)光刻機的，只是技術(shù)確實跟人家有一定的差別。
光刻機又名：掩模對準(zhǔn)曝光機，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機是掩膜對準(zhǔn)光刻。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。
